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公司基本资料信息
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产品概括
半导体晶片搬运（yùn）用（yòng）机器人
负载：-
动态范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运、半导（dǎo）体（tǐ）
产（chǎn）品详（xiáng）情
大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用（yòng）底架（jià），极大地提高了搬运效率。
高速搬运：300枚/小时
适用：300mm-450mm晶片搬运
| 项目 | 规格（gé） | ||
|---|---|---|---|
| 机械臂 | 适用（yòng）晶（jīng）体尺寸（cùn） | 300mm(450m)*1 | |
| 晶体把持方（fāng）式 | 真空吸附夹具或边（biān）缘夹（jiá）具 | ||
| 标准边（biān）缘效应器长*2 | 对应345mm＠300mm的晶（jīng）体 | ||
| 驱动轴数（shù） | 5轴 | ||
| 手臂类型 | 单臂 | ||
| 动作范围 | R轴伸（shēn）缩*3 | 1215mm | |
| θ轴回旋（xuán） | 330° | ||
| Z轴（zhóu）升降 | 480mm | ||
| B轴回转 | 440° | ||
| *小回（huí）转半径（jìng）*2 | 510mm | ||
| *快速度*2 | 伸缩 | 260°/s | |
| 回旋（xuán） | 330°/s | ||
| 升降（jiàng） | 550mm/s | ||
| B轴（zhóu）回转 | 350°/s | ||
| 线性 | 2000mm/s | ||
| 重复定位精度*2 | 0.1mm(P-P) | ||
| 质量 | 66kg | ||
| 位置调整（zhěng）器 | 适（shì）用晶（jīng）体尺寸 | 300mm | |
| 晶体把（bǎ）持方式 | 真空吸（xī）附夹（jiá）具 | ||
| 检出对（duì）象 | 凹槽 | ||
| 晶体材质（zhì） | 珪素（sù）*4 | ||
| 晶体边缘（yuán）检出传感器（qì） | LED + CCD线（xiàn）性传感（gǎn）器 | ||
| 动作范围（wéi） | 回旋 | 无限制 | |
| *快速度（dù）(加速/减速时（shí）间) | 回旋 | 1000°/s(0.1s/0.1s) | |
| LINEMENT精度 | ±0.03° | ||
| LINEMENT时间 | 1.7秒以（yǐ）下 | ||
| 质量 | 5.8kg | ||
| 设置环境 | 洁净等级*5 | ISO等级1 | |
| 使用（yòng）温度·湿度（dù） | 20～30℃,35～55%RH(不结露（lù）) | ||
| 保管（guǎn）温（wēn）度（dù）·湿度 | 0～40℃,35～80%RH(不结露) | ||
| 标高 | 表高1000m以下 | ||
| 环境（jìng） | 无爆炸性，腐蚀性（xìng），可（kě）燃性气（qì）体 | ||
| MCBF | 1500次（cì）循（xún）环（huán）以上 | ||
*1：本公司标（biāo）准终端效应器(300mm:边缘把持（chí）/真空吸着（zhe）,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规（guī）格（gé）标（biāo）准品（pǐn）),当使用本（běn）公司（sī）标（biāo）准300mm对应（yīng）终端校准器时
*3：机械臂回旋中心（xīn）位置～晶体中心位置(本（běn）公司（sī）标准300mm对应（yīng）终（zhōng）端效（xiào）应器时)
*4：根据SEMI规格为（wéi）基准的（de）晶体规（guī）格。特殊石英晶体请与我司联系。石（shí）英晶体也（yě）可对应（有业绩）。但是根据石英规格，本公司（sī）需要（yào）进行评（píng）价和调整。
*5：在0.3m/s的流量下，机械臂（bì）进行真空吸附
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